Neigungs-, Beschleunigungs- und Vibrationssensoren

 

  • Langzeit-Stabilitäten von ±0,067% FS / 0,036°/ 0,67mg (10 Jahre)
  • Wiederholbarkeiten < 0.01%FS, 0,01° / 0,18mg
  • Auflösungen bis ± 0,0015% / 0,00075° /  7µg (bei 1Hz)
  • Wiederholbare Temperaturabhängigkeit bis ±0,002°/°C,
  • Bruchsicherheit Messpendel >50‘000g Schock

Technologie:

 

Das Messelement besteht aus einem Pendel, dessen statische oder dynamische Bewegung / Stand kapazitiv abgegriffen wird. Es besteht aus hochreinem Silizium, das praktisch nicht deformierbar ist, und hermetisch in Glas und Silizium eingeschlossen ist.

Die symmetrische Bauform kompensiert einen wichtigen Teil des Temperaturganges, der ausschließlich durch den Ausdehnungskoeffizient des Siliziums verursacht wird. Eine weitergehende Temperaturkompensation wird je nach Model analog vorgenommen.

Durch die Gasdämpfung werden störende Vibrationen (in Neigungssensoren) ausgefiltert. Resonanz-Frequenzen (in Vibrations-Sensoren) sowie ein Überschwingen des Pendels werden verhindert.

Technologie Datenblatt

Funktionsprinzip:

 

Durch die Bewegung wird das Pendel ausgelenkt. Dabei wird kapazitiv die Distanz zur „Aussenwand“ gemessen.

Während die Beschleunigung (in g) linear gemessen wird, ergibt sich für Winkelmessungen (°) aus geometrischen Gründen eine Sinus-Funktion.